Действующий прототип прибора, созданного специалистами исследовательской лаборатории корпорации Nippon Electric Corporation (NEC), где по контракту работают и сотрудники ФИАНа, представляет собой металлическую пленочную структуру на обычном кремниевом чипе.

Изготовлен он методом электронной литографии - напылением под различными углами алюминиевых пленок через германиевую маску, сформированную реактивным ионным травлением. Объект этот довольно сложный и состоит из различных элементов. Это волноводные линии, подводящиe и отводящие СВЧ-излучение, резонатор, а также островковая сверхпроводящая структура, содержащая нанометровые туннельные переходы.

Читать далее